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1一种具有超高精度的精加工卡盘，超精型膜片卡盘精度最高可达0.0003mm，转速高达12000r/min；
2卡爪夹紧时有后拉力，最短夹持长度约1.5mm；
3在卡爪张开时依靠内置气缸提供动力，在夹紧工件时，依靠膜片自身弹力夹紧；
4卡爪在数量和形状上都可以进行非标设计，以适应不同工况；
5膜片卡盘卡爪可以进行快换式设计，同一个卡盘体适用不同工件；
6超精型膜片卡盘，可以通过更换卡爪实现卡盘的内外径夹持方式转变；
7超精型膜片卡盘，可根据工况，选择快换型、标准型、固定式等；
8特殊的内部结构，使得超精型膜片卡盘较一般卡盘的重量要轻的多。
